一種空間分辨激光誘導擊穿光譜分析系統及其分析方法

高端裝備制造

一種空間分辨激光誘導擊穿光譜分析系統，包括脈沖激光器，激光束變換聚焦光學系統，位移臺，激光誘導等離子體信號采集裝置，光譜儀，計算機；激光誘導等離子體信號采集裝置包括夾持器和光纖探針，夾持器的弧形導軌上至少有一個滑塊，滑塊可在弧形導軌上滑動，滑塊中央的孔中有可沿弧形導軌徑向移動的套筒；光纖探針固定在套筒的圓孔中。

本發明結構簡單，可多角度、多距離采集激光誘導等離子體的光譜信號，通過調節光纖探針的角度和距離，抑制連續光譜背景，大大簡化了LIBS技術的裝置，不需依賴延時裝置和定位裝置，提高和擴展了現有技術的性能。