高等教育領域數字化綜合服務平臺
上海理工大學
上海市
- 0 高校采購信息
- 623 科技成果項目
- 0 創新創業項目
- 0 高校項目需求
光電輪廓儀
所屬領域:
項目成果/簡介:
納米科技是21世紀材料技術革命的核心，而納米測量是納米技術中重要環節，我校研制的光電輪廓儀是納米測量的重要儀器之一。該儀器除在計量系統作為傳遞基準儀外，也可廣泛用于材料科學、生物學、化學、微機械學以及半導體工業等領域中的納米分析測量。
儀器主要技術指標為：
測量方法：非接觸式、三維、光學相移干涉法
物鏡倍率：40X
測量范圍：0.1×0.1mm
測量列陣：510×510象素
最小顯示值：0.1nm
測量表面粗糙度范圍：Ra～0.1nm-120nm
最大可測量臺階和孔深：1100nm
儀器Ra測量重復性：Ra≤1nm
項目階段:
掃碼關注，查看更多科技成果
取消
確定