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光譜型共聚焦位移傳感器 及形貌掃描技術的開發與應用

2021-04-11 00:00:00
云上高博會 http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞: 位移傳感器
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所屬領域:
新材料及其應用
項目成果/簡介:

成果介紹

傳統解決方案光源、光譜儀、共焦光路等各自獨立,體積大、裝配繁瑣;All-in-one 高集成一體化光譜共聚焦傳感器方案;光源光路、共聚焦光路和光譜分析光路一體化集成;控制電路、信號處理分析電路一體化集成;測量結果顯示輸出一體化集成;高可靠、高精度、低裝配要求、低空間占用;緊湊型光路及關鍵配件(如物鏡等)自主設計方案;三維掃描系統及配套面型重構算法、特征提取算法;后期將開發更先進的線光源激發共聚焦測量系統。



技術創新點及參數

非接觸測量,完美避免工件表面劃傷;廣泛適用于各種材料表面測量(不透明/透明/半透明、液體等);待測工件顏色不敏感;極高的位置變化測量精度以及高的表面掃描分辨率;點成像方式,不存在通常3D掃描儀的遮擋效應;可實現大表面傾角處的位置測量;可實現多層工件(透明/半透明)各界面處的形貌掃描;無激光光源安全問題。

項目階段:
未應用
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