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一種高電子透過率的冷陰極X射線管柵極結構及制作方法

2021-04-11 00:00:00
云上高博會 http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞: X射線管柵
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:

本發明公開了一種高電子透過率的冷陰極X射線管柵極結構及制作方法,包括柵極法蘭、銅網、金屬柵極片、柵極套筒、陰極底座和陰極發射材料;柵極法蘭設有法蘭中心通孔和法蘭凹槽;銅網嵌套在法蘭凹槽中,銅網的一側包覆有納米級厚度的碳膜;金屬柵極片設在銅網的下方,金屬柵極片與柵極法蘭相連接,套筒內腔中設有陰極底座,陰極底座通過陶瓷墊片與柵極套筒可拆卸連接;陰極底座的高度能夠調整,陰極底座的頂部設有陰極發射材料。本發明采用覆蓋有碳膜的銅柵網作為柵極,采用碳納米管為陰極發射材料,改進了因柵網網孔處電場下降帶來的發射效率降低的問題,并提升了陰極發射電子在柵極處的透過率,從而增大了陽極電流。

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