一種壓電-電磁復合式振動能量收集器及其制備方法

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本發明提供了一種壓電?電磁復合式振動能量收集器及其制備方法，該能量收集器包括相互堆疊的襯底和背板；所述襯底經刻蝕形成懸臂梁結構，其中，所述襯底的下表面形成有凹槽、所述凹槽上方為懸臂梁結構，所述凹槽和所述背板形成腔體，所述腔體內設有永磁體；所述懸臂梁結構的上表面設置有壓電層，在所述襯底上表面的除了所述懸臂梁結構以外的周邊區域設置有第一電感線圈層，所述壓電層與所述第一電感線圈層相絕緣；所述背板的下表面設置有第二電感線圈層。通過本發明的制備方法所制備的壓電?電磁復合式振動能量收集器，具有較高的能量收集效率、高的輸出功率和輸出功率密度(W/cm2)；改善了能量收集器的可靠性和使用壽命。

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