技術(shù)成熟度：技術(shù)突破

        隨著物聯(lián)網(wǎng)和人工智能的快速發(fā)展，應(yīng)用于半導(dǎo)體加工的氫氟酸(HF)需求急劇增長(zhǎng)。然而，HF對(duì)人體的危害不可逆，因此迫切需要開發(fā)高靈敏度、高選擇性和快速檢測(cè)HF的方法。本展品展示了一種基于CuI-MCOF敏感材料構(gòu)建的首例化學(xué)電阻型HF氣體傳感器。CuI-MCOF類似于人體鼻腔內(nèi)嗅覺神經(jīng)，通過選擇性放大過程實(shí)現(xiàn)了對(duì)HF氣體分子的特異性，該傳感器在室溫下對(duì)100ppm的HF氣體展現(xiàn)出7188%的高靈敏度響應(yīng)。響應(yīng)時(shí)間和恢復(fù)時(shí)間分別僅為4秒和2秒，其檢測(cè)限(LOD)為11 ppb。同時(shí)，具有優(yōu)異的抗干擾性能（抗?jié)瘛⒖垢蓴_氣）和出色的HF傳感循環(huán)穩(wěn)定性。

        意向開展成果轉(zhuǎn)化的前提條件：中試放大及產(chǎn)業(yè)化工藝開發(fā)資金支持