高結晶性單壁碳納米管產業化技術

新材料及其應用

針對催化劑表面碳析出-成核過程不可控、生長表面易失活和半導體性單壁碳納米管難以分離等問題，我們突破了催化劑同步可控蒸發、成核-生長調控、電極棒連續供給等關鍵技術，解決批次間單壁碳納米管直徑、純度一致性差的難題，實現高質量單壁碳納米管的高效、宏量、可控制備。而且研究突破了高純半導體性單壁碳納米管分離與晶圓級薄膜組裝技術，實現了純度≥99.9%的半導體性單壁碳納米管分離，并突破4-6英寸晶圓級薄膜可控制備。目前，正在推進電弧放電法制備單壁碳納米管產業化進程，一方面可有效避開現有技術路線的缺陷和直接競爭，另一方面也將為發展碳基傳感芯片和碳基集成電路提供高性能原材料。研究成果曾獲2022年中國電子學會自然科學獎二等獎。

小批試制