微納傳感器及其集成化與智能化系統

新一代信息技術

基于半導體工藝，通過器件結構設計與優化，研發了場效應晶體管傳感器。將傳感器結合不同的敏感材料，可用于室溫下氧氣、臭氧、NOx等多種氣體的快速檢測。通過模擬IC設計，可將多個傳感器與功能電路集成在同一芯片，并可將算法集成在內，構成智能傳感芯片。在氣體檢測方面，整個傳感系統具有集成度高、功耗低、響應速度快、靈敏度高、成本低、智能化等優勢。可滿足多種氣體檢測的場景需求。

最右側為制作并封裝好的場效應晶體管傳感器。傳感器上端放置敏感材料，與氣體等生化量發生反應。下端的SD兩個電極與功能電路連接。通過功能電路將獲得的傳感信號傳輸給手機并進行顯示。

用于室溫下氧氣、臭氧、NOx等多種氣體的快速傳感檢測需求，如環境監測、智能建筑等領域。

與同類的氣體傳感器相比，具有功耗低、靈敏度高、尺寸小、響應速度快、價格低、集成度高、智能化等優勢。具有較強的競爭力。