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一種氧化鋅納米線陣列紫外光電探測器的制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞：
紫外光電探測器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種基于氧化鋅納米線陣列的紫外光電探測器，屬于光電子器件領域。本發明利用化學氣相沉積技術，通過調節雙溫區管式爐裝中真空壓力等實驗參數，在氮化鎵襯底上實現氧化鋅納米線陣列的均勻可控生長，然后利用透明導電玻璃直接貼壓法，得到對365nm 紫外光具有毫秒量級的快速響應和恢復時間的紫外光電探測器。本方法工藝簡單，材料成本低廉，在快速紫外光電傳感器和短長光電器件領域有廣泛的運用前景。
項目階段:
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