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一種三維微型模具的制造方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞：
三維微型模具
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明提供了一種三維微型模具的制造方法，在各硅片上分別刻蝕出與待制造零件各層結構相應的圖形，將質量百分比 98％的H2SO4 與質量百分比 30％的 H2O2 按照體積比 2～4∶1 混合，采用此混合溶液對各硅片進行清洗，然后活化，再將活化后的硅片干燥，按層次迅速對準貼合，最后進行退火處理得到三維微型模具型腔。本發明能夠制造出微米尺度的三維微型模具，具有精度高，成本低，柔性大的優點，適用于微齒輪軸、微階梯軸、高深寬比三維微型結構等微機電系統(MEMS)器件模具的加工制造。
項目階段:
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