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一種超精密雙層宏微運動平臺的同步控制系統(tǒng)

2021-04-14 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 運動平臺
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項目成果/簡介:

本發(fā)明公開了一種超精密雙層宏微運動平臺的同步控制系統(tǒng),該系統(tǒng)包括設(shè)置在計算機內(nèi)的主控制模塊、兩個宏微運動平臺控制模塊和同步控制模塊;兩個宏微運動平臺控制模塊均包括微動平臺控制模塊,跟隨控制模塊,宏動平臺控制模塊,激光測量模塊,以及光柵測量模塊。本發(fā)明引入了微動平臺位置轉(zhuǎn)換器,簡化了微動平臺的控制;提出了力作用轉(zhuǎn)換器,提高了宏動平臺的跟蹤精度;采用宏動平臺跟蹤微動平臺的控制方式,防止了微動平臺運動飽和的發(fā)生,提高了宏微運動平臺的定位精度;采用了雙層宏微運動平臺同步控制器,減小了同步誤差,并改善了雙層宏

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