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一種熱鍵合裝置
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞：
熱鍵合
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發(fā)明提供了一種熱鍵合裝置，主要包括外腔、加壓裝置、上加熱器和位于外腔底部的基座，基座中間部分為凸臺，凸臺內設有沉控，沉孔內裝有彈簧，彈簧伸出凸臺的一端上放置球頭小柱，在球頭小柱上依次放置隔熱板和下加熱器；在基座凸臺兩側設有兩支撐架，用于用于支撐下工作臺機構；在下彈簧與下工作臺機構接觸處上端的導桿上套有上彈簧，用于支撐上工作臺機構。本發(fā)明通過三種彈簧設置使上下加熱器和上下工作臺之間均勻壓緊，實現(xiàn)鍵合樣片之間的均勻貼緊。
項目階段:
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