制造電化學晶體管的方法

先進制造與自動化

本發明公開了利用并列噴嘴噴印制造柔性電化學晶體管的方法， 包括以下步驟：1)注入溶液；2)沉積網格狀纖維結構；3)網格狀纖維結 構自組裝。本發明工藝簡單，采用并列靜電紡絲工藝，一步制得微納 纖維，并且通過平臺運動控制可直接實現陣列化纖維的制造；工序簡 單，借助于表面張力驅動的自組裝工藝可大面積穩定可靠實現 WECT 源極、漏極與柵極的連接；其成本低，效率高，靜電紡絲以及自組裝 工藝極大縮減了制造時間與材料用量；材料兼容性好，制造過程均未 涉及高溫工藝，有機、柔性材料均可得到極大的運用。 <

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