一種基于白光干涉定位原理的比較儀及其檢測方法

其它領域

本發明公開了一種基于白光干涉定位原理的比較儀及其測量方法，該比較儀包括測量探針、測量物鏡、干涉顯微鏡、垂直掃描工作臺、滑塊、CCD 成像單元、立柱、移動量檢測單元以及水平工作臺，其中垂直掃描工作臺設置在立柱上，并由粗驅機構上下驅動；干涉顯微鏡和 CCD 成像單元固定在設置于垂直掃描工作臺的滑塊上，并由精驅機構上下驅動；移動量檢測單元對滑塊的移動量進行檢測輸出；測量探針可繞樞軸轉動地設置在與干涉顯微鏡鏡體豎直相連的支撐桿上，用于對被測對象相接觸；測量物鏡用于對光進行匯聚并形成干涉條紋。通過本發明，能夠

未應用