一種精密定位隔振平臺

其它領域

本發明公開了一種定位隔振平臺，它包括定位隔振裝置和主動控制器，兩者之間通過電氣連接，主動控制器對定位隔振裝置進行位置控制和振動控制。定位隔振裝置包括分布在正三角形頂點的三支撐腿及其共同支撐的一塊負載平板。每一個支撐腿中有一個螺旋彈簧作為主要支撐部件。一個位移傳感器布置在連接板下方檢測連接板位移，負載平臺對應支撐腿的位置安裝有垂向速度傳感器。主動控制器為主從開放式結構形式，由上位控制計算機和下位執行控制器組成，保證負載平臺保持在設定位置，并有效的隔離地基振動對平臺精度的影響。本發明可廣泛應用于精密加工

未應用