一種原子層沉積前驅體輸出裝置

先進制造與自動化

本發明公開了一種原子層沉積前驅體輸出裝置，該輸出裝置由裝載前驅體的鋼瓶（101），緩存腔（103），連接所述鋼瓶（101）與緩存腔（103）的第一開關閥（102），位于所述緩存腔腔體內且與所述緩存腔腔體氣密性良好的運動活塞（104），以及控制輸出主管路的第二開關閥（105）構成。本發明通過固定空間的氣體體積變化，每次穩定的排出等量前驅體，保證定量輸出前驅體，能夠更好的適應于前驅體用量優化分析及在線監測系統分析。

試用