一種頻率可調的太赫茲波超材料調制器

高端裝備制造

本發明公開了一種頻率可調的太赫茲波超材料調制器，包括周

期排列的單元器件，每一個單元器件包括襯底、位于襯底上的功能材

料層以及位于功能材料層上的金屬諧振單元；當功能材料層從絕緣相

變成金屬相，功能材料層的電導率呈指數倍增加使得金屬諧振單元的

中間開口電容的面積增加，金屬諧振單元的諧振頻率隨著電容的增大

而變小實現了對單元器件的頻率調諧。本發明采用在太赫茲波段低傳

輸損耗襯底上制作周期排列的金屬開口諧振單元、利用金屬絕

未應用