一種低熱導率的多層相變材料

新材料及其應用

本發明公開了一種低熱導率的多層相變材料，兩種單層薄膜相

變材料交替堆疊形成周期性的多層膜結構，兩種薄膜材料至少有一種

組成元素不同或由相同的元素組成但原子百分比不同。其作為相變存

儲器的記錄材料能有效降低對某一儲存單元進行讀寫操作時引起的鄰

近儲存單元溫升，減小鄰近單元之間的熱串擾，提高存儲器的穩定性

并降低器件功耗，且該材料不需引入其他非相變材料，與現有制備技

術完全兼容。

未應用