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一種光電化學太陽能電池光電極微納結構制造工藝
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞：
太陽能電池
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種光電化學太陽能電池光電極微納結構制造工藝，包括步驟：1)在潔凈硅片上熱生長一層 SiO<sub>2</sub>薄膜、2)在有 SiO<sub>2</sub>層的硅片表面光刻出圓孔陣列圖形、3)刻蝕暴露的 SiO<sub>2</sub>，將光刻的圖形轉移到 SiO<sub>2</sub>層、4)鍍Cu 膜、5)去除表面的光刻膠及光刻膠表面的 Cu、6)生長 Si 微米線陣列、7)在 Si 微
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