一種光功率分束器

高端裝備制造

本發明公開了一種光功率分束器，包括襯底以及在襯底上自下

而上依次排列的包層、下導波層和上導波層；上導波層為圖形層，沿

水平面上向右方向依次刻蝕有輸入波導、準直透鏡、光束整形透鏡組、

相移光柵、傅里葉變換透鏡、第一相位補償結構、直流分量相移器、

第二相位補償結構和輸出波導陣列；其中，準直透鏡、光束整形透鏡

組、相移光柵、傅里葉變換透鏡、第一相位補償結構、直流分量相移

器和第二相位補償結構的厚度相同；輸入波導和輸出波導陣

未應用