一種成分連續(xù)漸變的半導(dǎo)體合金薄膜及其制備方法和應(yīng)用

新一代信息技術(shù)

本發(fā)明公開了一種成分連續(xù)漸變的半導(dǎo)體合金薄膜及其制備方

法和應(yīng)用，其中該薄膜的特征有：薄膜為三元硫硒化合物合金，硒成

分在 X 軸方向能夠連續(xù)漸變，在 Y 軸方向和 Z 軸方向基本不變；該成

分連續(xù)漸變的半導(dǎo)體合金薄膜作為良好的光吸收層被用于薄膜太陽能

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電池陣列和光電探測器。其制備方法包括：(1)選取沉積襯底；(2)準(zhǔn)備

蒸發(fā)源；(3)制備半導(dǎo)體合金薄膜。本發(fā)明提出的方法能夠在同一條件

下沉積成分大范圍連

未應(yīng)用