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一種 MTJ 納米柱陣列的制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞：
MTJ納米柱
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種 MTJ 納米柱陣列的制備方法，包括 S1 在基
底上表面制備電子束光刻對準所需要的定標符；S2 根據定標符在基底
上表面制備底電極層，底電極層包括多條平行的底電極線；S3 在附著
有底電極層的基底上表面涂覆一層 HSQ，通過電子束曝光對 HSQ 層
進行圖形化，在每一條底電極線上形成多個絕緣單元；每一個絕緣單
元的中間具有一個孔；S4 依次通過光刻、濺射和剝離工藝在絕緣單元
的孔內形成磁性多層膜層；
項目階段:
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