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一種基于疊層結構的高性能氣敏傳感器及其制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞：
氣敏傳感器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發(fā)明公開了一種基于疊層結構的高性能氣敏傳感器及其制備方法。本發(fā)明采用氧化錫、氧化鋅作為導電層，三氧化鎢、二氧化鈦、氧化銅、氧化鈷作為敏感層，同時采用鈀、鉑貴金屬、硫化鎘、錫化鎘敏化劑對敏感層進行修飾制備得到氣敏傳感器。本方法采用疊層的形式將修飾后的氣敏材料置于頂層，使其能與環(huán)境中的氣氛進行充分的反應，提高氣敏傳感器的響應度；
項目階段:
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