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基于硅基懸臂梁T型結(jié)間接加熱式毫米波信號(hào)檢測(cè)器

2021-04-14 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 信號(hào)檢測(cè)器
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本發(fā)明的基于硅基懸臂梁T型結(jié)間接加熱式毫米波信號(hào)檢測(cè)器,主要實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)包括由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、T型結(jié)、間接加熱式微波功率傳感器和開關(guān)。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)包括兩組懸臂梁,每組懸臂梁由兩個(gè)對(duì)稱的懸臂梁構(gòu)成,兩個(gè)懸臂梁之間CPW傳輸線的電長(zhǎng)度在所測(cè)信號(hào)頻率范圍內(nèi)的中心頻率35GHz處為λ/4。功率通過(guò)第一間接加熱式微波功率傳感器進(jìn)行檢測(cè);頻率檢測(cè)通過(guò)利用間接加熱式微波功率傳感器測(cè)量?jī)陕吩谥行念l率處相位差為90度的耦合信號(hào)的合成功率實(shí)現(xiàn);相位檢測(cè)通過(guò)將兩路在中心頻率處相位差為90度的耦合信號(hào),分別同兩路等分后的參考

項(xiàng)目階段:
小批量或小范圍應(yīng)用
知識(shí)產(chǎn)權(quán)編號(hào):
2017100526491
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