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一種石墨烯圖形化摻雜方法

2021-04-13 00:00:00
云上高博會 http://www.6gsl1hl.xyz
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所屬領域:
新材料及其應用
項目成果/簡介:

本發明公開了一種石墨烯圖形化摻雜方法,包括如下步驟:(1)

將氦氣與摻雜氣體混合作為工作氣體導入等離子體發生裝置中,施加

高壓脈沖電壓,在工作氣體中放電產生室溫常壓等離子體,將形成的

等離子體由引導管的噴嘴導出,形成微等離子體射流;(2)將噴嘴對

準石墨烯薄膜的指定位置,用微等離子體射流對石墨烯薄膜進行輻照,

將工作氣體的活性原子摻入到被輻照的區域,在二維平面內移動微等

離子體射流或石墨烯薄膜,實現對石墨烯的圖形化摻雜。該方法可有

效地將雜質原子摻入到石墨烯的骨架位置上,且不會對石墨烯的原本

結構產生破壞,摻雜過程簡單易行,設備成本低廉,可實現大規模生

產。

項目階段:
未應用
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