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硅微諧振式壓力傳感器
2021-04-13 00:00:00
云上高博會
http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞：
壓力傳感器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本硅微諧振式壓力傳感器采用自主設計的膜片——諧振梁式復合敏感結構、自主探索的工藝流程和自主研發的信號處理技術，具有優良的穩定性和靈敏度，且敏感結構比國外同類產品簡單，適合國內工藝水平現狀。
該傳感器用于大氣壓力測量或液體壓力測量，在氣象、航空、石油、化工、電力等領域應用前景廣闊。目前，該技術已達到小批量樣機生產的實用要求。
項目階段:
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