本實(shí)用新型公開了一種基于氧化硅矩形光波導(dǎo)的集成光收發(fā)模塊，包括至少一個(gè)具有四個(gè)45°拋光內(nèi)端面的矩形氧化硅光波導(dǎo)、至少一個(gè)垂直腔面激光器和至少一個(gè)光子探測(cè)器，其制備方法為：利用45°刀頭將矩形波導(dǎo)切割成三段，由劃片機(jī)在芯片上切割出四個(gè)45°內(nèi)端面；采用真空電子束熱蒸發(fā)等對(duì)應(yīng)工藝鍍上布拉格反射膜、金屬膜以及金屬導(dǎo)線和焊點(diǎn)；再用折射率匹配膠將切割鍍膜后的矩形波導(dǎo)粘合，同時(shí)在內(nèi)端面狹縫上方一定區(qū)域涂上匹配膠；最后通過(guò)倒裝焊接的方法，將垂直腔面激光器和光子探測(cè)器分別與對(duì)應(yīng)的金屬電極焊接，集成于內(nèi)端面狹縫之上，本實(shí)用新型低成本，高速率，可實(shí)現(xiàn)多通道傳輸數(shù)據(jù)。