一種精密主動減振裝置

其它領域

本發明提供了一種結構緊湊、集成度高的精密主動減振裝置，它適用于需要進行微幅振動抑制的小質量精密加工（測量）設備。該裝置主要包括既能感受振動又能對振動進行抑制的壓電塊結構、壓電塊提供垂向預壓力的折疊彈簧以及提供垂向被動隔振的柔性鉸鏈。其中，壓電塊可以采用垂直布置，也可以采用 45 度傾斜布置，采用傾斜布置的壓電塊結構可以同時測量和抑制水平向振動和垂向振動。另外，一種實現水平面隔振的減振裝置可以提供 360 度水平面的振動隔離，其內部采用線切割加工出螺旋線形槽。水平面隔振減振裝置與垂向精密主動減振裝置結

未應用