一種可控大長徑比納米探針的制備裝置與制備方法

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本發(fā)明提供一種可控大長徑比納米探針的制備裝置，通過設(shè)置 腐蝕穩(wěn)壓電路、腐蝕電壓切斷電路、探針浸沒判斷電路，與單片機配 合實現(xiàn)對腐蝕過程中的腐蝕電壓、探針浸沒深度、探針提升速度等重 要參數(shù)的精確控制，能夠制備大長徑比、可控長徑比、耐磨損、可回 收、成本低的納米探針。本發(fā)明還提供一種可控大長徑比納米探針的 制備方法，采用探針浸入指定深度后不再停留腐蝕，而是一直不斷提 起探針，從而形成針尖長、針尖曲率半徑平滑變化、長徑比大的新型 納米探針，具有不易磨損、可回收再利用、使用成本低等顯著優(yōu)點， 并通過對腐蝕電

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