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一種具有納米異質復合結構的紫外光探測器及其制備方法
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞：
紫外光探測器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種基于 TiO2/ZnO 納米異質復合結構的紫外光探 測器結構，其最底層為基底材料，其上為叉指電極，并覆蓋一層 ZnO 薄膜，薄膜之上為 ZnO 納米棒，納米棒表面為 TiO2 納米結構。本發 明還公開了所述紫外光探測器的制備方法：（1）在基底薄片上鍍上金 屬電極形成叉指電極；（2）鍍上 ZnO 薄膜；（3）合成 ZnO 納米棒陣 列；（5）在 ZnO 納米棒表面形成 TiO2 納米結構。本發明的紫外光探 測器在保持 ZnO 紫外探測器超高光電流增益的同時引入 TiO2 納米結 構，形
項目階段:
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