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耐高溫微型壓力傳感器實用化開發(fā)
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞：
壓力傳感器
所屬領域:
項目成果/簡介:
研究基于SIMOX技術的耐高溫壓力傳感器，達到目標為工作溫度200℃-400℃，抗1000℃高溫沖擊，量程從1MPa——100MPa。非線性±0.5%Fs。固有頻率20Hz-150Hz。主要研究內容：帶有導電通道的選擇性氧離子注入SIMOX技術的SOI硅片制作，抗瞬時超高溫和長期高溫沖擊的總體結構設計與優(yōu)化；長期工作穩(wěn)定性研究等。產(chǎn)品達到同類產(chǎn)品的先進水平。
項目階段:
產(chǎn)業(yè)化應用
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