微波等離子體化學氣相沉積金剛石裝備及產品

新材料及其應用

微波等離子體化學氣相沉積法合成金剛石技術是代表化學氣相沉積（CVD）合成金剛石技術國際先進水平和發展方向的高新技術，本技術的主要成果包括以下幾方面內容： 高效能微波等離子體化學氣相沉積金剛石裝備的設計與制造； 鈀管提純氫氣裝置設計與制造； 微波等離子化學氣相沉積（CVD）合成金剛石技術及產品； 金剛石后續加工技術及應用。