本發(fā)明公開了一種原子力探針位姿調(diào)節(jié)裝置,包括探針座，調(diào)節(jié) 機(jī)構(gòu)和連接頭。其中探針座用于原子力探針的安裝固定；調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包 括由下至上的第一調(diào)節(jié)部件、第二調(diào)節(jié)部件、第三調(diào)節(jié)部件、第四調(diào) 節(jié)部件以及第五調(diào)節(jié)部件，分別用于原子力探針的里外水平偏擺、左 右水平、上下旋轉(zhuǎn)、上下俯仰以及上下豎直位姿調(diào)節(jié)；連接頭用于與 原子力探針測量系統(tǒng)的顯微物鏡相連。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)原子力探針任 意姿態(tài)的細(xì)微調(diào)節(jié)，各個調(diào)節(jié)動作相互獨(dú)立，互不影響，提高了探針 姿態(tài)的調(diào)節(jié)精度；且能夠?qū)φ{(diào)節(jié)后的位姿進(jìn)行鎖定，使其保持穩(wěn)定， 進(jìn)一步保證原子力探針測量系統(tǒng)的穩(wěn)定性和精度。