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清華大學
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清華大學探針臺（含WAT）
招標單位：
招標年份：
所屬地區：
招標類型：
采購方式：
項目概況：
清華大學探針臺（含WAT） 招標項目的潛在投標人應在登記報名網址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn獲取招標文件，并于2022年09月15日 10點00分（北京時間）前遞交投標文件。
項目基本情況：
項目編號：清設招第2022228號
項目名稱：清華大學探針臺（含WAT）
預算金額：280 萬元
采購需求：
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包號 |
名稱 |
數量 |
是否允許進口產品投標 |
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01 |
探針臺（含WAT） |
1套 |
是 |
設備用途介紹 ：本次采購的探針臺（含WAT）將用于MEMS器件的實際研發過程中，通過自動控制芯片移動檢測器件電學參數，實現整晶圓快速檢測，快速監控工藝是否正常。
簡要技術指標 ：
- 支持晶圓尺寸：8英寸兼容6英寸，支持全晶圓測試，具有WAT測試功能；
- 配置高精度定位器，定位精度：≤3.0μm；
- 探針臂接口≥8個：匹配相應磁性吸附的DC探針臂≥6個，RF探針臂≥2個；
- 升級為高低溫探針臺，溫度控制范圍：-60℃至300℃，可調節分辨率≤0.1℃；
- 配備自動測試軟件，實現自動化測試，生成Map文件，自動對準晶圓。
合同履行期限：交貨時間：合同簽訂后210日內
申請人資格要求：
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
無
3.本項目的特定資格要求： 1）在中華人民共和國境內注冊； 2）符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定的條件； 3）通過“信用中國”網站（www.creditchina.gov.cn）和中國政府采購網（www.ccgp.gov.cn）查詢信用記錄（截止時點為投標截止時間），被列入失信被執行人、重大稅收違法案件當事人名單、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單的供應商，沒有資格參加本項目的采購活動； 4）不接受聯合體投標； 5）單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得同時參加同一包號的政府采購活動； 6）為某一包號提供整體設計、規范編制或者項目管理、監理、檢測等服務的供應商，不得再參加該包的其他采購活動； 7）必須在線登記獲取招標文件，否則沒有資格投標。
獲取招標文件：
時間：2022年08月23日 至 2022年08月30日，每天上午8:00至14:00，下午12:00至16:30。（北京時間，法定節假日除外）
地點：登記報名網址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
方式：登記報名網址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：
截止時間：2022-09-15 10:00
開標時間：2022-08-15 10:00
地點：北京市海淀區清華大學華業大廈實驗室處1區5層第一評標室（清華大學東南門東側，無須辦理入校手續）。
公告期限：自本公告發布之日起5個工作日。
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