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【政府采購意向】微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)
2022-12-16 10:02:00
云上高博會
http://www.6gsl1hl.xyz
招標單位：
招標年份：
所屬地區(qū)：
招標類型：
采購方式：
項目概況：
采購品目：A02052402 真空應用設(shè)備
預計采購時間：2022-12
項目基本情況：
項目名稱：【政府采購意向】微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)
預算金額：120 萬元
采購需求：
南京大學擬采購買微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)一套。 參數(shù)性能需滿足： 1. 微波系統(tǒng)：微波頻率：2450±25MHz；輸出功率：0.6kw~6kw 連續(xù)可調(diào)； 2. 真空系統(tǒng)：工作氣壓范圍：10~250Torr；自動穩(wěn)壓范圍：40~250Torr； 3. 樣品臺： a)電動升降式水冷基片臺，直徑120mm，高度可調(diào)范圍 0～110mm； b)鉬基片臺直徑≥50mm，在工作狀態(tài)，等離子體可覆蓋整個基片臺； c)基片臺溫度250～1400℃； 4. 測溫系統(tǒng)：紅外測溫系統(tǒng)，測溫范圍：250~1400攝氏度。 服務要求：可提供技術(shù)支持和售后服務；設(shè)備保質(zhì)期12個月。
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：
截止時間：2022-12-31 00:00
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