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北京化工大學
教育部
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【政府采購意向】ARRADIANCE臺式原子層沉積系統
招標單位：
招標年份：
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招標類型：
采購方式：
項目概況：
采購品目：A03專用儀器
預計采購時間：2022-11
項目基本情況：
項目名稱：【政府采購意向】ARRADIANCE臺式原子層沉積系統
預算金額：320 萬元
采購需求：
ALD 是用于沉積單原子層超薄膜的氣相沉積設備。通過精確控制媒質的流量以及使用清除媒質，可在納米尺度精確控制沉積薄膜厚度，實現大批量大面積的基底材料和復雜的三維物體表面制備高保形薄膜，廣泛用于催化化學、材料科學、物理學、電子與通信技術領域的科學儀器。
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：
截止時間：2022-11-30 00:00
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